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氣體質量流量控制器怎么來控制液氮的流量呢？液氮是指液態的氮氣。液氮是惰性，無色，無臭，無腐蝕性，不可燃，溫度極低的液體，汽化時大量吸熱接觸造成凍傷。在工業中，液態氮是由空氣分餾而得，將空氣凈化后，在加壓、冷卻的環境下液化，借由空氣中各組分之沸點不同加以分離。
氣體質量流量計和流量控制器是在20℃，1個大氣壓條件下標定的，主要是指氣體在1分鐘的體積流量單位。熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比。
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